/ 產品介紹

i PULSAR PLUS
極低能量高電流離子植入機

請下拉

漢辰專注於離子束技術的研發,與世界領先的客戶們共同開發最尖端的離子植入製程,針對新世代的元件需求挑戰 iPulsar Plus 的極致性能表現,以求滿足技術上最嚴苛的需求與未來的挑戰。

iPulsar Plus 不但將具有數十年成熟工藝的離子束技術成功延伸進入28/20/16/10/7/5奈米的元件製程, 並可和其他的線上機型進行90奈米到45奈米量產技術的製程匹配,無論在製程轉換或產能擴張上均讓客戶具有極大的成本優勢;在技術領先與生產效益的功效下,iPulsar Plus 實現了高電流離子植入機的終極表現!

/ AIBT

學術發表

策略夥伴
Hermes-Epitek Crop.